射频电源维修

  射频电源专业维修，凌科自动化专业从事：变频器维修、伺服驱动器维修、直流调速器维修、伺服电机维修、数控系统维修、射频电源维修、印刷机控制板维修、PLC维修、显示屏维修、仪器仪表维修、比例阀维修、伺服阀维修、流量计维修、探伤仪维修、UPS电源模块维修、电路板维修、通讯板维修、驱动板维修、断路器维修、软启动器维修、纺织电路板维修、注塑机电路板维修、工控机维修等自动化设备控制系统维修。凌科自动化可维修品牌：西门子、安川、ABB、三菱、住友、海德汉、AB、富科斯、保德软、惠丰、雷诺尔、通力、LUST、伦茨、SEW、艾默生、发格、大畏、Mazak、哈斯、新代、贝加莱、欧姆龙、东芝、日立、英威腾、施耐德、鲍米勒、丹佛斯、汇川、东洋、富士、台达、时代、埃斯顿、松下、AE、海德堡、罗兰、ENI、Daihen、ENIMKS、OEM、MKS、VAT、KEYSIGHT、Agilent等进口一线品牌控制仪器。

   射频电源维修常州凌科自动化科维修品牌：美国AE 、ENI（MKS） 、RFPP、ADL 、COMDEL 、ADTEC 、SEREN 、 HUTTINGER。技术人员有AE公司八年以上工作经验，累计维修电源和匹配器约2000台，有MKS原厂工作十年的资深工程师。公司维修所采用的零部件等材料均为原装进口。公司服务宗旨是：“精益求精，品质”。维修快可以当天完成，公司提供更长的质保期和更优质的保修服务。

   射频电源维修常见维修产品及故障现象：      
    1.触摸屏、人机界面、控制面板 
    常见故障现象有：通电不显示、触摸屏不灵、触摸后鼠标跑偏、面板按键无反应、触摸表面碎裂、花屏、白屏、闪屏及程序等故障维修； 
    2.伺服驱动器 
    常见故障现象有：驱动器报警、无显示、缺相、过流、过压、欠压、过热、过载、接地故障、参数错误、有显示无输出、编码器报警、模块损坏等； 
    3.伺服电机(伺服马达) 
    常见故障现象有：1.电机上电、机械振荡(加／减速时) 2.电机上电、机械运动异常快速(飞车) 3.主轴不能定向移动或定向移动不到位 4.出现NC错误报警 5.伺服系统报警 6.编码器报警 7.电机卡死等； 
    4.工业电脑、工控主机 
    常见故障现象有：开不了机、上电后不工作、开机进不了系统、开机后自动重启或频繁重启、开机跳过系统介面滚动条会黑屏、蓝屏、自动重启或关机； 
    5.变频器 
    常见故障现象有：整流模块损坏、逆变模块损坏、上电无显示、显示过电压或欠电压、显示过电流或接地短路、电源与驱动板启动显示过电流、空载输出电压正常、带载后显示过载或过电流. 

射频（英语：Radio frequency，缩写为RF），又称无线电频率、无线射频、高周波，为在3 kHz至300 GHz这个范围内的震荡频率，这个频率相当于无线电波的频率，以及携带着无线电信号的交流电的频率。RF通常被用来指电子震荡，而不被用在机械震荡上，然而机械射频系统仍然是存在的（如机械过滤器与射频微机电系统）。
虽然射频在定义上是用来指一种频率，但在日常使用中，常被用来当成无线电的同义词，以利描述无线通讯系统，如射频识别。
在国际电信联盟定义的无线电频率划分当中：
甚低频（VLF）：3~30千赫（KHz）
低频（LF）：30~300千赫（KHz）
中频（MF）：300~3000千赫（KHz）
高频（HF）：3~30兆赫（MHz）
甚高频（VHF）：30~300兆赫（MHz）
特高频（UHF）：300~3000兆赫（MHz）
超高频（SHF）：3~30吉赫（GHz）
极高频（EHF）：30~300吉赫（GHz）

射频电源故障现象4：有Ua，Ia很大。
原因及解决办法：
Ug1无激励。

射频电源安装与调试
1. 电子管的安装
打开机箱上盖，将电子管垂直向下插入管座，插到底，然后顺时针旋转大约60度（有限位），套上接线卡子，将螺钉旋紧一些，再盖上机箱的上盖。
注意用手拿电子管时，不能碰
陶瓷部位，以免手上汗迹沾在陶瓷
部位降低管子的耐压。
2. 接线
如图，注意射频电缆接头要旋
紧，电缆弯曲尽量自然一些。
3. 电源的检查
在未正式与设备连调之前，或在工作过程中有异常，比如不起辉、
不稳定、反向功率大等，可单独检查电源。
方法：用假负载替代真实负载，接通电源→开启开关→当红色小灯亮后→“Ua调节”旋钮逆时针调到头→按下“Ua—ON”开关→顺时针调Ua到200伏（此时各表头均有指示）→调匹配器（反复调）使反射功率*小，如果这时Ua、

Ia、功率都正常，则可认为电源工作正常。Ua×Ia×80%≈入射功率。
4. 起辉
在确认射频源正常后，即可接上真实负载进行调试。
再次起辉时，可将Ua调到400~500V，如果未起辉，反射功率会很大，调节耦合和调谐旋钮使之起辉，暂且先不管反射功率有多大。如果不起辉，可降低真空度。磁控溅射真空度可降到数Pa。真空度低些容易起辉。如还不起辉，

可采取短时间加大功率的方法。比如Ua加到700V，如果不起辉，马上把Ua降一点，再调一下匹配器电容，再略加高Ua，如此重复进行，直到起辉为止。即：
如果再不起辉，应检查反应室及接线部分是否有问题。
起辉后，调匹配器之电容使反射功率减小直到接近零。
如果起辉时真空度较低，起辉后可逐渐提高真空度.
5. 加功率
在起辉正常后，可提高功率，这里要注意的是，在初次起辉时，可能由于反应或工作气体不干净，设计上欠合理等因素而使反应室内打火，这种情况功率不能提高。第二，在正常工作时，通常靶上所加功率为5~10W/cm2,极限功

率约为20 W/cm2，所加功率不要超过极限值，否则会烧毁靶。
6. 几个参考数据
射频功率源驻波比≤1.5
磁控溅射功率密度5～10 W/cm2
磁控溅射压强0.5～数Pa
自偏压:100V～500V（自偏压与真空度、功率密度、磁控强度、靶材等有关）
7. 几种故障的判断
在正常工作时，如果发生跳闸现象，则直流供电部分出现故障。
Ua突然变大时，电子管损坏的可能性大。
有Ua无Ia时，驱动板有故障或高频插头接触不佳。
射频功率源及其它仪表的安装
射频功率源通常用于和等离子设备配套，该设备除主机及射频源以外，还有其它真空仪表，如质量流量计、真空计、分子泵、温控仪表、微机等，如果安装不合理，射频源会干扰这些真空仪表。
1) 射频源的安装：要将匹配器的机箱与真空室尽可能靠近，匹配器安装在机柜内的，要将机柜与真空室尽可能靠近，能直接与真空室或工作台接触*好，如无法接触，要用纺织线以*短的距离将它们连接起来（功率较大的射频源

已与真空室接触好）。
2) 其它仪表的安装：a.测量线、控制线要用屏蔽线；b.电源输入要加电源滤波器；c.质量流量计的控制盒与真空室的连接，如可能的话，用绝缘管道。
3) 从真空室里引到真空室外的导线，如照明线、加专线、测量控制线及其它电极的引线，在真空室内耦合有很强的射频信号，在引出真空室后，要加电容滤波，去掉射频信号，滤波电容要用耐压高一些的云母电容或CBB电容有

时要用高功率瓷介电容。